De réir mar a théann an próiseas leathsheoltóra domhanda i dtreo nóid chun cinn de 3nm/2nm, tá ábhair bheachtais tíotáiniam (ASTM B265/B348, Grád 1/2/5 ard-cóimhiotail tíotáiniam agus tíotáiniam íonachta) á uasghrádú ó “ábhair chúnta” go dtí príomhábhair straitéiseacha do mhonarú leathsheoltóra, le bunbhuntáistí mar eisíontais ultra- ard-chreimeadh, ard-chreimeadh teirmeach. friotaíocht, agus airíonna neamh-mhaighnéadacha. Tá aird agus éileamh an mhargaidh ag méadú go sioncrónach.
Príomhthiománaí: Cuireann próisis chun cinn uasghrádú ar ábhar
Éilíonn próisis leathsheoltóra chun cinn (5nm agus thíos) trí phríomhriachtanas mór crua le haghaidh ábhar: cruinneas leibhéal nanaiméadar, glaineacht an leibhéil adamhach, agus cobhsaíocht mhór comhshaoil:
-Spriocábhar tíotáiniam ard-íonachta (Grád 1, íonacht Níos mó ná nó cothrom le 99.999%/5N): Bunábhar sputtering PVD, a úsáidtear le haghaidh ciseal bacainn idirnasctha copair, breiseán teagmhála, chun idirleathadh adamh copair a chosc ó sliseog sileacain éillithe, ag cinneadh go díreach táirgeacht agus feidhmíocht sliseanna, oiriúnach don phróiseas 130-3nm ar fad
-Comhpháirteanna struchtúracha beachtais (Grád 2/5): tábla oibre meaisín liteagrafaíocht, seomra meaisín eitseála, flange bhfolús, lámh róbatach wafer, etc., le comhéifeacht leathnú teirmeach íseal (8.6 × 10 ⁻⁶ / céim ) agus dífhoirmiúchán luaineachta teochta de ach 1/3 de chóimhiotal alúmanaim, ag cinntiú cruinneas suímh nanaiméadar.
-Comhpháirteanna frith-chreimeadh (Grád 7): Frithsheasmhach in aghaidh creimthe láidir aigéid/halaigine i dtrealamh eitseála agus glantacháin fliuch, gan truailliú ó dheascadh miotail, atá oiriúnach d’fholús ard agus d’fhíorchoinníollacha oibre plasma.
Buntáistí lárnacha na n-ábhar tíotáiniam caighdeánach Mheiriceá
1. Ard-íonacht + ultra-eisíontais íseal: Caighdeán Meiriceánach Grád 1 tíotáiniam ard íonachta le neamhíonachtaí inrialaithe ocsaigine/nítrigine/carbóin<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Cobhsaíocht theirmeach + cruinneas tríthoiseach: seoltacht íseal teirmeach (21.9W / (m · K)), comhéifeacht leathnú teirmeach beag, caoinfhulaingt suas le ± 0.005mm, réidh dromchla Ra Níos lú ná nó cothrom le 0.4 μ m, oiriúnach le haghaidh cóimeála nanascála agus séalaithe i bhfolús.
3. Friotaíocht creimeadh + neamh-scaoileadh maighnéadach + íseal gáis: ciseal ocsaíd nádúrtha féin-leighis, frithsheasmhach in aghaidh Cl ₂/F ₂/creimeadh aigéad láidir; Neamh-mhaighnéadach agus gan cur isteach ar chiorcaid bheachtais; Tá an ráta scaoilte aeir thar a bheith íseal faoi fholús ultra-ard (UHV), rud a chinntíonn glaineacht an tseomra.
4. Meáchan Éadrom agus Ard Neart: Dlús 4.51g/cm ³ (40% níos éadroime ná cruach dhosmálta), Neart teanntachta Grád 5 Níos mó ná nó cothrom le 930MPa, neart sonrach faoi dhó ná cruach dhosmálta, oiriúnach do riachtanais éadroma na gcodanna gluaiste ardluais.
Cásanna feidhmchláir lárnacha
-Spriocábhar tíotáiniam ardíonachta (Grád 1): taisce sputtering PVD, a úsáidtear le haghaidh ciseal bacainn sliseanna loighce / stórála agus ciseal greamaitheacha, le méid margaidh domhanda de 1.87 billiún dollar SAM in 2024 agus CAGR de 9.3% ó 2026 go 2030.
-Seomra folúis/flange (Grád 2): Córas folúis do threalamh eitseála agus sil-leagan, frithsheasmhach in aghaidh ardbhrú, scaoileadh gáis íseal, agus séalaithe iontaofa.
-Éifeachtóir láimhe/deiridh róbatach beacht (Grád 5): aistriú sliseog, éadrom agus ard-neart, suíomh beacht, gan aon doirteadh cáithníní.
-Líne/daingneán frith-chreimeadh (Grád 7): Trealamh próisis fhliuch, frithsheasmhach in aghaidh aigéid láidre ar nós HF/HCl, ag cur le saolré an trealaimh agus ag laghdú costais chothabhála.
Treocht an mhargaidh: ionadú intíre + cinn teicneolaíochta
Tá leathnú cumas leathsheoltóra domhanda (go háirithe i Mórthír na Síne) tar éis fás tapa an éilimh ar ábhair tíotáiniam beachtais a thiomáint. I 2023, beidh méid margaidh páirteanna cruinneas tíotáiniam na Síne le haghaidh leathsheoltóirí níos mó ná 3 billiún yuan, agus beidh ráta fáis bliantúil de níos mó ná 25%. Baineadh amach olltáirgeadh cobhsaí na n-ábhar tíotáiniam beachtas caighdeánach Meiriceánach Grád 1/2/5 (lena n-áirítear scragall tíotáiniam 0.05mm ultra-, spriocábhair íonachta ard, agus comhpháirteanna struchtúracha beachta), le lamháltais agus íonacht ag baint amach ardleibhéil idirnáisiúnta, ag cuidiú leis an slabhra tionscal leathsheoltóra a bheith inrialaithe go neamhspleách.
Faoi phróisis chun cinn agus ionadú baile tiomáint dé-roth, tá ábhair tíotáiniam cruinneas a chomhlíonann caighdeáin Mheiriceá tar éis éirí mar chroí-thacaíocht d'uasghrádú an tionscail leathsheoltóra. Sa todhchaí, leanfaidh siad ag briseadh tríd i dtreo íonachta níos airde (6N), sonraíochtaí níos tanaí (Níos lú ná nó cothrom le 0.05mm), agus meaisínithe níos cruinne (± 0.002mm).
Iarr Athfhriotail
Ríomhphost:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
